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蓝宝石炉自动控制方案

发布时间:2012-07-09

系统概述:
蓝宝石炉是LED行业关键设备之一,它通过采用纯度为99.999%的高纯Al2O3生长高质量的蓝宝石晶体。蓝宝石晶体独特的晶格结构、优异的力学性能、良好的热学性能使其成为半导体GaN发光二极管(LED),大规模集成电路SOI和SOS及超导纳米结构薄膜等最为理想的衬底材料。低成本、高质量地生长大尺寸蓝宝石单晶已成为当前面临的迫切任务。
 
系统组成:
蓝宝石炉设备总体可分为加热系统、籽晶提升系统、称重系统、真空系统、水冷系统、图像识别系统六大部分。控制系统核心部分采用海得控制完全自主研发的“e-control PLC+ NetSCADA TPC触摸平板电脑+NetSCADA监控组态软件”,整个控制系统的结构原理图如下图所示:

 

 
控制系统主要特点 :
采用具有自主知识产权的PLC和组态软件开发,易于扩展
经过检验的控制算法,加热电源控制精度高,反应灵敏
强大的图像识别系统,提升设备自动化程度
设计完备的异常处理机制,提高设备安全性
简洁友好的图形用户界面,简化用户操作
客户可自主编写核心控制程序,保护设备核心工艺技术
网络化平台,方便实现本地集中监控及互联网远程监控
系统可靠性高,性能优越,可完全替代国外同类控制系统